納米涂層處理設備
Parylene鍍膜技術廣泛用于航空航天，兵器，船舶等領域；經Parylene涂敷后的產品具有較高的絕緣強度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、生物相容性等作用。
PECVD Parylene Machine
PARYLENE P280
| 外形尺寸 |
L2600mm W1000mm H2000mm |
| 內腔尺寸 |
Φ0640mm H800mm |
| 旋轉層 |
Φ0560mm H650mm |
| 沉積材料 |
Parylene N, C, (D), F-VT4,F-AF4 |
| 涂層厚度范圍 |
0.05 to 100 micrometers |
| 高溫分解 |
4Kw/ max.850°C |
|
旋轉臺8層可調 |
PARYLENE P310
| 外形尺寸 |
L2200mm W2700mm H1600mm |
| 內腔尺寸 |
Φ700mm H720mm |
| 旋轉層 |
Φ600mm H660mm |
| 沉積材料 |
Parylene N, C&(D),for Perylene D |
| 涂層厚度范圍 |
0.05 to 50 micrometers |
| 高溫分解 |
4Kw/ max.850°C |
|
旋轉臺8層可調 |
CVD Parylene Machine
HM-P5
I-46058C
| 外形尺寸 |
L2900mm W1900mm H11700mm |
| 內腔尺寸 |
Φ500mm H780mm |
| 旋轉層 |
Φ4000mm H670mm |
| 沉積材料 |
Parylene N, C,(D), F-VT4,F-AF4 |
| 涂層厚度范圍 |
0.05 to 100 micrometers |
| 高溫分解 |
8Kw/max.850°C |
| 旋轉臺6-10層可調 |
